紫外线

在可见光谱上端的一种不可见的辐射带。波长从10到400纳米，紫外线(UV)开始于可见光的末端，结束于x射线的末端。紫外线的主要来源是太阳，大部分到达地球的紫外线都是低频的UVA区域(见下文)。

虽然紫外线(UV)被广泛认为是一种消毒剂，但它也被用来擦除EPROM芯片。在紫外线照射几分钟后，芯片可以再次编程(见EPROM）.

用于芯片制造的紫外线

芯片是用光刻技术制造晶体管层的。每一层都通过一个图案(掩模)暴露在光下，长期以来，远紫外线(FUV)是最先进芯片的光源。然而，由于光不能产生小于其自身波长的图案，为了使晶体管元件更小，极紫外光(EUV)已成为5纳米及以下芯片的最新光源。总部位于荷兰的ASML控股公司生产极昂贵的EUV步进机器。看到十字线，光刻和EUV机．

EUV前后

EUV是最先进的技术，但更大波长的DUV和FUV对于每年制造的数十亿微控制器来说绰绰有余。有无数的应用芯片，不需要最快和最先进的处理。当然，微控制器芯片今天只花50美分，比第一批商用计算机要强大得多，以今天的美元计算，第一台商用计算机要花100多万美元单片机和UNIVAC我）.

为了将晶体管缩小到一纳米以下，人们设想用x射线和电子束来在未来的芯片上创造图案，而不是今天使用的光刻技术埃时代和制程技术）.

波长紫外区(nm)UVA长波“A”315-400 UVB中波“B”280-315 UVC短波“C”100-280 NUV近紫外线300-400 MUV中紫外线200-300 DUV深紫外线< 300 FUV远紫外线122-200 Lyman-alpha 121.6 VUV真空紫外线< 200 EUV极紫外线10-121